洁净环境的原则是什么? 在以细微化、高集成化不断发展的电子零件、组装行业,和对人体有影响的医药品、食品行业为代表的很多FA领域,都要求洁净环境。本特集将举例说明洁净环境和污染管理。这是一项影响质量的重要技术。规定了创造并维护该洁净环境的3原则。
【洁净环境3原则】 1. 不带入污染 2. 不带出污染 3. 不堆积污染
※污染:是指浮游微量粒子、微生物等汚染物质。 另外,据说在污染管理中,若采用以下的分类标准,便于采取对策。 【污染管理的分类标准】 1.汚染对象是什么?
→对策因气体、液体、固体(内部或表面)而变化。气体比其他形态蔓延快,制造现场普遍存在,所以对于维持洁净环境而言,气体的污染管理很重要。 2.汚染物质的性质如何?
→必须确认物理、化学性质。因为汚染物质会改变汚染对象的物理、电气性质,或者为了除去污染物质而使用化学反应。 3.汚染源是什么? →没有污染源就不会发生汚染物质。可以有效地指定并清除污染源,或者切断污染路径。 洁净环境的相关标准 说到洁净环境,我想很多人都会想到洁净室。接下来确认洁净室的定义和标准。 【何谓洁净室】 是指进行污染管理的有限空间。通过管理将空气中的浮游微小粒子、微生物控制到限定的清洁水平以下,另外还保持该空间供应的材料、药品、水等要求的洁净度。还根据需要管理温度、湿度、压力等环境条件。(JIS Z 8122 污染控制术语) 洁净环境的技术主要以美国较发达,所以多年来一般情况下都使用美国联邦标准FED-STD-209D。该标准规定,标准体积为1立方英尺(1英尺=30.48cm)。之后,标准变更为以1立方米为标准的FED-STD-209E。在日本,1989年制定了JIS B 9920洁净室的空气洁净度的评估方法标准。并且,在全球向国际单位转移的过程中,1999年制定了ISO 14644-1标准。对象微小粒子的粒径、标准体积大体上都采用JIS标准。因此,废除了美国标准,但习惯性使用FED-STD-209D。 各标准的标准体积和标准粒径 标准表(FED-STD-209) 等级标识 | | | | | | | | | | | | 209E
| 209D
| m3
| ft3
| m3
| ft3
| m3
| ft3
| m3
| ft3
| m3
| ft3
| M1
|
| 350
| 9.91
| 75.7
| 2.14
| 30.9
| 0.875
| 10
| 0.283
| -
| -
| M1.5
| 1
| 1,240
| 35.0
| 265
| 7.5
| 106
| 3.00
| 35.3
| 1
| -
| -
| M2
|
| 3,500
| 99.1
| 757
| 21.4
| 309
| 8.75
| 100
| 2.83
| -
| -
| M2.5
| 10
| 12,400
| 350
| 2,650
| 75
| 1,060
| 30
| 353
| 10
| -
| -
| M3
|
| 35,000
| 991
| 7,570
| 214.4
| 3,090
| 87.5
| 1,000
| 28.3
| -
| -
| M3.5
| 100
| -
| -
| 26,500
| 750.4
| 10,600
| 300
| 3,530
| 100
| -
| -
| M4
|
| -
| -
| 75,700
| 2,140.4
| 30,900
| 875
| 10,000
| 283
| -
| -
| M4.5
| 1,000
| -
| -
| -
| -
| -
| -
| 35,300
| 1,000
| 247
| 7.00
| M5
|
| -
| -
| -
| -
| -
| -
| 100,000
| 2,830
| 618
| 17.5
| M5.5
| 10,000
| -
| -
| -
| -
| -
| -
| 353,000
| 10,000
| 2,470
| 70.0
| M6
|
| -
| -
| -
| -
| -
| -
| 1,000,000
| 28,300
| 6,180
| 175
| M6.5
| 100,000
| -
| -
| -
| -
| -
| -
| 3,530,000
| 100,000
| 24,700
| 700
| M7
|
| -
| -
| -
| -
| -
| -
| 10,000,000
| 283,000
| 61,800
| 1,750
|
标准表(JIS B 9920/ISO 146441-1) 等级标识 | | | | | | | | 1级
| 10(101)
| 2
|
| |
| | 2级
| 100(102)
| 24
| 10
| 4
|
| | 3级
| 1,000(104)
| 237
| 102
| 35
| 8
|
| 4级
| 100,000(105)
| 2,370
| 1,020
| 352
| 83
|
| 5级
|
| 23,700
| 10,200
| 3,520
| 832
| 29
| 6级
|
| 237,000
| 102,000
| 35,200
| 8,320
| 293
| 7级
|
| |
| 352,000
| 83,200
| 2,930
| 8级
|
| |
| 3,520,000
| 832,000
| 29,300
| 9级
|
| |
| 35,200,000
| 8,320,000
| 293,000
|
|