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洁净环境的原则和标准

顺风顺水2018
2021/07/17 00:08:55
洁净环境的原则是什么?
在以细微化、高集成化不断发展的电子零件、组装行业,和对人体有影响的医药品、食品行业为代表的很多FA领域,都要求洁净环境。本特集将举例说明洁净环境和污染管理。这是一项影响质量的重要技术。规定了创造并维护该洁净环境的3原则。

【洁净环境3原则】
1. 不带入污染
2. 不带出污染
3. 不堆积污染

※污染:是指浮游微量粒子、微生物等汚染物质。
另外,据说在污染管理中,若采用以下的分类标准,便于采取对策。
【污染管理的分类标准】
1.汚染对象是什么?
   →对策因气体、液体、固体(内部或表面)而变化。气体比其他形态蔓延快,制造现场普遍存在,所以对于维持洁净环境而言,气体的污染管理很重要。
2.汚染物质的性质如何?
   →必须确认物理、化学性质。因为汚染物质会改变汚染对象的物理、电气性质,或者为了除去污染物质而使用化学反应。
3.汚染源是什么?
   →没有污染源就不会发生汚染物质。可以有效地指定并清除污染源,或者切断污染路径。
洁净环境的相关标准
说到洁净环境,我想很多人都会想到洁净室。接下来确认洁净室的定义和标准。
【何谓洁净室】
是指进行污染管理的有限空间。通过管理将空气中的浮游微小粒子、微生物控制到限定的清洁水平以下,另外还保持该空间供应的材料、药品、水等要求的洁净度。还根据需要管理温度、湿度、压力等环境条件。(JIS Z 8122 污染控制术语)
洁净环境的技术主要以美国较发达,所以多年来一般情况下都使用美国联邦标准FED-STD-209D。该标准规定,标准体积为1立方英尺(1英尺=30.48cm)。之后,标准变更为以1立方米为标准的FED-STD-209E。在日本,1989年制定了JIS B 9920洁净室的空气洁净度的评估方法标准。并且,在全球向国际单位转移的过程中,1999年制定了ISO 14644-1标准。对象微小粒子的粒径、标准体积大体上都采用JIS标准。因此,废除了美国标准,但习惯性使用FED-STD-209D。
各标准的标准体积和标准粒径
标准表(FED-STD-209)
等级标识
等级上限值
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
体积单位
体积单位
体积单位
体积单位
体积单位
209E
209D
m3
ft3
m3
ft3
m3
ft3
m3
ft3
m3
ft3
M1

350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10
0.283
-
-
M1.5
1
1,240
35.0
265
7.5
106
3.00
35.3
1
-
-
M2

3,500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
-
-
M2.5
10
12,400
350
2,650
75
1,060
30
353
10
-
-
M3

35,000
991
7,570
214.4
3,090
87.5
1,000
28.3
-
-
M3.5
100
-
-
26,500
750.4
10,600
300
3,530
100
-
-
M4

-
-
75,700
2,140.4
30,900
875
10,000
283
-
-
M4.5
1,000
-
-
-
-
-
-
35,300
1,000
247
7.00
M5

-
-
-
-
-
-
100,000
2,830
618
17.5
M5.5
10,000
-
-
-
-
-
-
353,000
10,000
2,470
70.0
M6

-
-
-
-
-
-
1,000,000
28,300
6,180
175
M6.5
100,000
-
-
-
-
-
-
3,530,000
100,000
24,700
700
M7

-
-
-
-
-
-
10,000,000
283,000
61,800
1,750
标准表(JIS B 9920/ISO 146441-1)
等级标识
等级上限值
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
1级
10(101)
2


2级
100(102)
24
10
4

3级
1,000(104)
237
102
35
8

4级
100,000(105)
2,370
1,020
352
83

5级

23,700
10,200
3,520
832
29
6级

237,000
102,000
35,200
8,320
293
7级


352,000
83,200
2,930
8级


3,520,000
832,000
29,300
9级


35,200,000
8,320,000
293,000